高溫四探針測試儀的主要功能特點(diǎn)介紹
更新時(shí)間:2020-04-23 點(diǎn)擊次數:864
高溫四探針測試儀采用由四端測量方法測試電阻率系統與高溫試驗箱為一體的的高溫測試系統,滿(mǎn)足半導體及導體材料因溫度變化對電阻值變化的測量要求,通以在高溫 、真空、氣氛的條件下測量導電材料電阻和電阻率,可以分析被測樣的電阻和電阻率隨溫度、 時(shí)間變化的曲線(xiàn)。目前主要針對圓片、方塊、長(cháng)條等樣品進(jìn)行測試。
高溫四探針測試儀廣泛用于碳系導電材料、 金屬系導電材料、 金屬氧化物系導電材料、結 構型高分子導電材料、復合導電材料等材料的電阻率測量。 主要有生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門(mén)對導電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃(ITO)和其它導電薄膜的方塊電阻、電阻率和電導率數據。
1、采用雙電測組合測量模式,不用進(jìn)行系數修正;
2、可以測量高溫、真空、氣氛條件下薄膜方塊電阻和薄層電阻率;
3、可以分析方塊電阻和電阻率隨溫度變化的曲線(xiàn);
4、可以自動(dòng)調節施加在樣品的測試電壓,以防樣品擊穿;
5、可以與美國keithley2400數字源表配套測量半導體材料;
6、可以通過(guò)USB傳輸數據,數據格式是Excel格式。