高溫測量鐵電參數測試儀本測試系統采用虛地模式測量電路，與傳統的Sawyer-Tower模式相比，此電路取消了外接電容，可減小寄生元件的影響。此電路的測試精度僅取決于積分器積分電容的精度，減少了對測試的影響環(huán)節，比較容易定標和，并且能實(shí)現較高的測量，它不僅能畫(huà)出鐵電薄膜的電滯回線(xiàn)，還可以定量得到鐵電薄膜材料的飽和化ps、剩余化Pr、矯頑場(chǎng)Ec、漏電流Ik等參數，以及對鐵電薄膜材料鐵電疲勞、鐵電保持的測試。能夠測量鐵電薄膜的鐵電。儀器采用一體化設計，實(shí)現測試結果全數字化，操作簡(jiǎn)單方便。